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本发明提供一种表面检查方法及表面检查装置。本发明的表面检查方法用于检查半导体基板的表面，该半导体基板具有反复排列的线状的线图案及形成于该线图案上的孔状的孔图案，其中，具有：设定检查条件的设定工序（Ｓ１０１）；通过设定工序中设定的检查条件向半...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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