温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种成膜装置包括：成膜室（１１），在真空中将希望的膜成膜在基板（Ｗ）上；放入取出室（１３），经由第一开闭部（２５）被固定于所述成膜室（１１），并能将内部减压为真空气氛；第二开闭部（３６），设置在所述放入取出室（１３）的、与设置有所述第一开闭...
该专利属于株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱发科授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。