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加速度传感器装置及传感器网络系统制造方法及图纸
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文档序号:5073468
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本发明提供使所消耗的耗电量下降且不使用上述压电传感器或双压电晶片的可使传感器自身小型化的结构的加速度传感器和传感器网络系统。本发明的加速度传感器装置是具备由导体和相对于该导体运动的驻极体形成的作为进行电能和动能的转换的静电感应型转换元件的加...
该专利属于旭硝子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过旭硝子株式会社授权不得商用。
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