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本发明涉及一种提高铟掺杂氧化锌透明导电膜导电性能的方法。该法采用在真空状态下或往退火炉内充入一定量的惰性气体（如氮气、氩气等）、氢气或他们的混合气体对ＩＺＯ透明导电膜进行退火处理，经退火处理后的ＩＺＯ透明导电膜电阻率显著降低，而且退火后能保...
该专利属于中国科学院福建物质结构研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院福建物质结构研究所授权不得商用。

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