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本发明提供一种退火装置，其具有：收容晶片Ｗ的腔室（２），对腔室（２）内的晶片Ｗ进行光照射的具有多个ＬＥＤ（３３）的加热源（１７ａ、１７ｂ），对加热源（１７ａ、１７ｂ）的ＬＥＤ（３３）进行供电的电源部（６０），对从电源部（６０）向发光元件的供...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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