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本发明公开了一种光束加工装置，所述光束加工装置向形成在基板（２）的一个表面上的待加工层（３）照射光束，从而对该待加工层进行加工。所述光束加工装置具有气体浮起机构（１０）和光束照射单元（５０），所述气体浮起机构（１０）通过喷射气体将所述基板支...
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