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本发明大体涉及等离子处理，更具体地，涉及等离子处理室和其中的电极组件。按照本发明一个实施方式，提供一种电极组件，包括热控板、硅基喷头电极和导热垫圈，其中该热控板的前侧和该喷头电极的背侧各自的轮廓配合以形成脱节的热界面，其包括邻近该喷头电极的...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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