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一种非晶硅氧化硅叠层结构的形成方法，包括：使用化学气相沉积形成氧化硅层，反应物为氯代硅烷和氧自由基。本发明降低了非晶硅层形成过程的反应温度，避免了反应过程中反复的升温和降温过程，降低了时间消耗，提高了产能。...
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