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一种用于从锭切晶片——例如从单晶锭或多晶硅锭切半导体晶片——的设备中的线锯梁。该线锯梁可由包括热固性聚合物树脂和碳纳米管的聚合物复合材料制成。...
该专利属于ＭＥＭＣ电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ＭＥＭＣ电子材料有限公司授权不得商用。

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