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本实用新型公开了一种扩散炉的自动炉门盖，应用于半导体掺杂工艺的扩散炉；它包括一圆管状炉膛，在炉膛的炉口端连接有一炉门柜，炉门柜内通过移动装置连接有一个与炉口匹配的圆形炉门盖；所述移动装置由炉门盖平面偏转驱动机构和炉门盖轴向运动驱动机构组成。...
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