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本发明提供了一种晶圆的干燥方法，至少包含如下步骤：提供一晶圆；以去离子水清洗所述晶圆，同时向该去离子水的液面通入异丙醇；移除所述去离子水；以及去除所述晶圆表面的残留液体，使晶圆干燥；其中，所述以去离子水清洗所述晶圆的步骤在酸性气体的气氛中实...该专利属于无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。