下载透射模式中的干涉式调制器的技术资料

文档序号:5025334

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本发明揭示一种透射性微机械装置,其包括:衬底;光学堆叠,其位于所述衬底上;及可移动薄膜,其位于所述光学堆叠上。所述可移动薄膜可包括部分反射镜且经配置以从第一位置移动到第二位置。当所述可移动薄膜处于所述第一位置时,所述透射性微机械装置经配置以...
该专利属于高通MEMS科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过高通MEMS科技公司授权不得商用。

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