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制造半导体器件的方法和半导体器件技术
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文档序号:5023903
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公开了一种制造半导体器件的方法,包括:提供绝缘载体(10),例如氧化物晶片;在所述载体上形成在源极结构(12)与漏极结构(14)之间的沟道结构(20);选择性地去除沟道结构(20)的一部分,从而在沟道结构(20)与载体(10)之间形成凹入部...
该专利属于NXP股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过NXP股份有限公司授权不得商用。
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