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代表一个或多个参数的过去数值的第一取得数据被显示在用户可监视、控制及预测系统操作的用户界面上。代表一个或多个参数的目前数值的第二取得数据被显示在用户界面上。代表一个或多个参数的预测的未来数值的虚拟数据被显示在用户界面上，其中所述第一取得数据...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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