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本发明涉及多晶硅线、半导体器件以及存储器电路,其中,多晶硅线包括:形成于第一电路区上的多晶硅线第一部分;由所述多晶硅线第一部分向第一电路区外延伸,并且与第二电路区连接的多晶硅线第二部分;所述多晶硅线第二部分的线宽大于多晶硅线第一部分的线宽。...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明涉及多晶硅线、半导体器件以及存储器电路,其中,多晶硅线包括:形成于第一电路区上的多晶硅线第一部分;由所述多晶硅线第一部分向第一电路区外延伸,并且与第二电路区连接的多晶硅线第二部分;所述多晶硅线第二部分的线宽大于多晶硅线第一部分的线宽。...