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本发明公开了一种采用一控片测试光刻薄膜不同烘焙条件的装置及方法，其中，加热板包括：加热板以及在加热板的边缘区域具有至少一个可升降的突起物，控片放置在该突起物和加热板的表面构成的平面上。因此，本发明提供的装置及方法可以采用一个控片进行多个不同...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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