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本实用新型涉及一种射频阻抗匹配装置，包括控制单元、功率相位检测单元、阻抗匹配网络、负载线圈、步进电机和电位器。功率相位检测单元连接在阻抗匹配网络和射频电源之间，阻抗匹配网络连有电位器和步进电机，控制单元与功率相位检测单元、步进电机和电位器连...
该专利属于中国地质大学(武汉)所有，仅供学习研究参考，未经过中国地质大学(武汉)授权不得商用。

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