射频阻抗匹配装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种射频阻抗匹配装置，包括控制单元、功率相位检测单元、阻抗匹配网络、负载线圈、步进电机和电位器。功率相位检测单元连接在阻抗匹配网络和射频电源之间，阻抗匹配网络连有电位器和步进电机，控制单元与功率相位检测单元、步进电机和电位器连接，射频电源输出的射频信号经过功率相位检测器，功率相位检测器检测出射频信号的入射功率、反射功率和相位差并传至控制单元，控制单元通过控制步进电机来改变阻抗匹配网络中可变电容的容值，并利用电位器记录阻抗匹配网络电容容值的变化，输出信号接至控制单元，实现负载阻抗的闭环控制。实现负载阻抗状态和阻抗匹配装置工作状态的实时监控，有控制精度高，阻抗调节速度快的优点。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种射频阻抗匹配装置，包括：　功率相位检测单元，从经过其中的射频信号中检测出入射功率、反射功率和相位差；　控制单元，用于对负载阻抗状态的判断和数值的计算，并且对阻抗网络的状态进行控制；　阻抗匹配网络，连接在射频电源和负载之 间；　其特征在于：该装置还包括电位器和步进电机，电位器与阻抗匹配网络连接，记录阻抗匹配网络电容容值的变化并反馈至控制单元；功率相位检测单元连接在阻抗匹配网络和射频电源之间，阻抗匹配网络连有电位器和步进电机，控制单元与功率相位检测单元、 步进电机和电位器连接，射频电源输出的射频信号经过功率相位检测器，功率相位检测器检测出射频信号的入...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：金星，石宝松，王超，张莉君，
申请(专利权)人：中国地质大学武汉，
类型：实用新型
国别省市：83[中国|武汉]