下载半导体基板、半导体基板的制造方法及电子装置的技术资料

文档序号:5016458

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本发明提供一种半导体基板,其提高化合物半导体装置的转换速度。并具有:硅基板;形成在所述硅基板上,并具有抵达所述硅基板且纵横比为/3以上的开口部的绝缘膜;形成于所述开口部,且形成为比所述绝缘膜的表面更凸出的晶种化合物半导体结晶:以及以所述晶种...
该专利属于住友化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友化学株式会社授权不得商用。

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