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分面镜用作微光刻的投射曝光设备中的光束引导元件。该分面镜具有多个分立镜（２１）。对于入射照明光的单独偏转，在每种情况下这些分立镜（２１）被连接到驱动器，使得这些分立镜关于至少一个倾斜轴（ｘ，ｙ）分别地可倾斜。连接到驱动器的控制装置被配置，使...
该专利属于卡尔蔡司ＳＭＴ股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司ＳＭＴ股份公司授权不得商用。

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