微光刻的投射曝光设备使用的分面镜制造技术

分面镜用作微光刻的投射曝光设备中的光束引导元件。该分面镜具有多个分立镜（２１）。对于入射照明光的单独偏转，在每种情况下这些分立镜（２１）被连接到驱动器，使得这些分立镜关于至少一个倾斜轴（ｘ，ｙ）分别地可倾斜。连接到驱动器的控制装置被配置，使得给定组的分立镜（２１）能够组合成分立镜组（１９），该分立镜组在每种情况下包括至少两个分立镜（２１）。结果是当分立镜安装在投射曝光设备中时，分立镜增加用于设置由投射曝光设备照明物场的各种照明几何形状的变化性。用于形成分面镜的分立镜的各种实施例被描述。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用作微光刻的投射曝光设备中的光束引导光学元件的分面镜(facet mirror)。另外，本专利技术涉及微光刻的投射曝光设备的包括至少一个这样的分面镜的照明光 学部件、包括这样的照明光学部件的投射曝光设备、使用这样的投射曝光设备制造微结构 或纳米结构元件的方法以及通过这样的方法制造的微结构元件或纳米结构元件。
技术介绍
这种类型的分面镜在US 6，438，299 Bl和US 6，658，084 B2中进行了公开。
技术实现思路
本专利技术的目的是开发一种开始提到的类型的分面镜(facet mirror)，从而通过将 该分面镜安装在投射曝光设备中，增加了设置各种照明几何形状以使用该投射曝光设备对 物场进行照明的变化性。根据本专利技术，该目的通过具有权利要求1或权利要求4中陈述的特征的分面镜而 得以实现。根据本专利技术，由于分面镜被划分成多个彼此独立地可倾斜的分立镜(^parate mirror)，因此分面镜可变地被划分为分立镜组。这可有助于生成具有不同边界的组，用于 适合于将被照明的物场的形状。分立镜单独地可被驱动，这确保物场的多个不同照明，而 不会由于阻挡或遮挡而损失任何光。具体而言，可装备有分面镜的照明光学部件可适配于 辐射源的光学参数，例如光束发散性或光束横截面上的强度分布。分面镜能够以这样的方 式设计，使得几个分立镜组在每种情况下独立地对整个物场进行照明。根据本专利技术的分面 镜可设置有多于10个、多于50个或甚至多于100个这样的分立镜组。分立镜照明通道是 由分面镜引导的照明光束的一部分光束路径，该照明光束由分面镜的分立镜中的仅一个 引导。根据本专利技术，对于整个物场的照明需要该类型的两个分立镜照明通道。在根据US 6，438，199 Bl和US 6，658，084 B2的分面镜的例子中，分立镜照明通道在每种情况下照明 了其大小与物场相应的物场部分。在根据权利要求2的分立镜的例子中，分配的分立镜照明通道能够彼此单独地照 明物场，或分立镜照明通道能够被布置为使得以限定的方式彼此交叠。物场可以由多于两 个的分立镜照明通道进行照明，例如由多于十个的分立镜照明通道进行照明。根据权利要求4的分面镜的优点相应于上文中参考根据权利要求1的分面镜已经 描述的那些优点。根据权利要求5的分面镜尤其用作投射曝光设备的照明光学部件中的场分面镜。 取决于分立镜组的大小和形状，被照明的相应大小和形状的物场是可实现的。在矩形物场 中，在每种情况下都由一个分立镜组形成的分立面(separate facet)的面纵横比相应于场 纵横比。分立镜组不需具有分立镜的固定布置。例如，分立镜以这样的方式可被驱动，以允 许多个所选择的分立镜被可变地分配给分立镜组，从而分配给具有给定形状的面(facet)。操作中，取决于形成面的给定分立镜组，分面镜则能够支持各种给定的面形状。代替形状与物场的整个形状相应的分立面，可以形成与半场相应的分立面或分立 面组，换句话说，沿物场尺寸的一半延伸的场。在每种情况中，这种类型的两个半场相结合 用于整个物场的照明。还可想象到的是形成形状与物场的部分场相应的分立面或分立面 组。该类型的数个部分场则可被结合用于整个物场的照明，数个部分场可以是彼此互补的。根据权利要求6和7的组形状也适合于当前物场几何形状。通过从分立镜组的格 栅布置(raster arrangement)中地选择其边界类似于期望包络的形状的分立镜、通过逐个 像素的近似，还可以获得弓形、环形或圆形包络。根据权利要求8的分面镜尤其用作投射曝光设备的照明光学部件中的光瞳分面^Mi ο照明光学部件优选地装配有被划分成根据本专利技术的分立镜的场分面镜，以及划分 成根据本专利技术的分立镜的光瞳分面镜。通过将分立镜组布置在关于场分面镜和光瞳分面镜 的相应组中，则可以实际地实现特定照明角度分布，即照明设置，而不会损失光。例如在US 2006/0132747 Al中描述的该类型的镜面反射器也可被划分为根据本专利技术的分立镜。由于 镜面反射器用于调节物场中的照明角度分布和强度分布，因此由于划分成分立镜的附加可 变性尤其是有利的。使用微镜阵列领域中已经公知的建设性的解决方案，可以获得根据权利要 求9的实施例。微镜阵列例如在US 7,061,582 B2中进行了描述。所选择的平铺 (tiling)类型取决于分立镜组的所需的形状。具体而言，可以使用从“Mathematisches Mosaik" (Mathematical Mosaic),禾斗 H (1977) ψ 白勺 Istvan Reimann ”Parkette, geometrisch betrachtet，，(A geometric view of tilings)以 及 Jan Gulberg "Mathematics-From the birth of numbers，，纽约 / 伦敦(1997)中己经公知的平铺。根据权利要求10的分立镜的构造需要相对较小的努力。这种类型的平面的分立 镜使得分立镜组能够用大致弯曲的反射表面形成。替换地，分面镜的分立镜可以是弯曲的， 尤其椭圆形弯曲，这分别地导致分立镜的对于照明光或成像光的成束效果。分立镜尤其是 凹弯曲的。具体而言，分面镜可以是多椭圆形镜。该类型的弯曲分立镜可以由具有平面反 射表面的分立镜组替换，其中替换的该类型的弯曲分立镜的非平面表面由微面的多面体近 似。当设置分面镜的反射表面的特定外形时，根据权利要求11的可位移能力增加了 可变性。这不仅允许形成组，而且能够对各个组内的反射表面限定特定的曲率和自由表面， 其具有期望的成像或任何其它成束效果。由于分立镜沿垂直于反射表面的法线分别地被驱 动用于位移，因此分立镜中共同的遮挡能够被最小化。使用微镜阵列领域中已经公知的建设性的解决方案，还可以获得根据权利要求12 的布置。根据权利要求13的驱动确保分立镜根据该设置快速且单独驱动。如果需要，例如当组合或共同地阻挡分立镜，根据权利要求14的平行驱动，尤其 成行或成列，允许分立镜被共同地驱动而不需要任何努力。就物场上的照明强度而言或就调节特定的取决于场的照明强度分布，根据权利要 求15的设计使得能够校正物场照明的均勻性。替换地或附加地，光瞳照明可以通过单独地驱动分立镜而被设置，使得光瞳面的照明的强度分布能够通过驱动分立镜而被设置。具体 而言，通过驱动分立镜来分布光瞳面的照明强度可尤其取决于被照明的场大小或场形状而 进行。替换地或附加地，光瞳面内的照明强度可以通过驱动分立镜而被分布，使得经由被照 明的物场设置入射照明角度的给定变化。例如，场中心的照明角度分布则可与场边缘处的 照明角度分布不同。分立镜的单独驱动当然还可以用于补偿由于其它原因导致的物场上的照明角度 分布或强度分布的非均勻性，或更一般而言，以校正与在物场上检测到的默认强度分布值 或照明角度分布值的偏差。根据权利要求16的平面载体有利于生产分面镜。通过相应地形成分面镜的上游 照明光或成像光，可以实现分面镜的载体的平面布置。至少一个分立镜的镜体可以相对于坚硬的载体主体关于倾斜接头的至少一个倾 斜轴是可倾斜的。该倾斜接头可以是固体接头，该固体接头具有垂直于倾斜轴的接头厚 度S,以及沿倾斜轴的接头长度L，并且L/S > 50。在本文档来自技高网...

【技术保护点】
在ＥＵＶ微光刻的投射曝光设备（１）中用作光学元件的分面镜（１３，１４；４７；６４；６７，７０），－所述分面镜（１３，１４；４７；６４；６７，７０）包括分立镜（２１；６９），所述分立镜提供分立镜照明通道（ＡＫ），用于将照明光（１０）引导到所述投射曝光设备（１）的物场（５），－所述分立镜（２１；６９）具有镜面，使得所述分立镜照明通道（ＡＫ）照明所述物场（５）内比所述物场（５）小的物场部分（７３；７６）；和－所述分立镜（２１；６９）经由驱动器（２４）能够倾斜。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：乌多丁格，马丁恩德雷斯，阿明沃伯，诺伯特米尔伯格，弗洛里安巴赫，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT股份公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]