下载LPCVD垂直炉管的石英外管的技术资料

文档序号:5013994

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本实用新型公开了一种LPCVD垂直炉管的石英外管,顶端为穹顶封闭,所述穹顶边缘切线与直管外表面的夹角不小于150°。所述穹顶与直管的过渡弧面半径为45mm。所述穹顶的球面半径为220mm。本实用新型对石英外管的穹顶形状进行了改进,增大了石英...
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