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本发明公开了一种硅片厚度测量方法，预先确定硅片厚度和重量之间的函数关系式；当需要测量任一硅片的厚度时，该方法包括：测量该硅片的重量；利用确定出的函数关系式以及测量出的硅片重量，计算得到硅片的厚度。应用本发明所述方法，不但能够节省能源，而且安...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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