下载红外焦平面封装窗口的金属化方法的技术资料

文档序号:5008212

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本发明提供了一种红外焦平面封装窗口的金属化方法,该方法采用离子辅助蒸发技术实现红外封装窗口金属化区的金属化。即在蒸发设备中装入离子能量低、离子密度高的离子源实现离子辅助,在离子辅助氛围下顺序在封装窗口金属化区上蒸镀一层铆定层、一层阻隔层和一...
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