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本发明提供了一种晶片采样检测系统及其检测方法，其中所述检测系统包括：芯片分布图读取单元，读取晶片的芯片分布图，获取晶片上所形成的芯片的位置信息；检测图形产生单元，依据芯片分布图，按照预定的采样规则，在晶片上选取检测点，形成检测图形；检测装置...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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