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本发明公开了一种晶圆可接受测试的实时监控方法，将晶圆划分为若干点，每个点有若干测试参数进行测试，其中部分参数为关键参数，包括步骤：设定晶圆可接受测试的类型和判断标准；进行晶圆可接受测试；对晶圆可接受测试得到的测试数据进行收集和整理；根据所述...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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