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本发明提供一种测试装置，包括基座，电测试部件，显微镜固定器以及显微镜，所述电测试部件设置于所述基座之上，所述显微镜固定器固定于所述基座上，所述显微镜通过所述显微镜固定器固定于所述电测试部件的上方，所述电测试部件包括载物台和探针，所述载物台用...该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;成都成芯半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;成都成芯半导体制造有限公司授权不得商用。