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本发明提出一种用于制造具有来自衬底背侧的入口的微机械膜片结构的方法。所述方法基于ｐ掺杂的硅衬底（１）并且包括以下方法步骤：ｎ掺杂衬底表面的至少一个连续的栅格状区域（２），多孔蚀刻所述ｎ掺杂的栅格结构（２）下方的衬底区域（５），在所述ｎ掺杂的...
该专利属于罗伯特.博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特.博世有限公司授权不得商用。

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