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一种高频高线性氮化镓高电子迁移率晶体管制造技术
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文档序号:4974328
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本实用新型涉及一种高频高线性氮化镓高电子迁移率晶体管。传统技术无法满足高功率器件的要求。本实用新型器件包括基底,基底上依次外延生长有缓冲层、插入层、隔离层、势垒层,晶体管的栅极、源极和漏极位于势垒层上。其中基底为蓝宝石、硅或碳化硅、缓冲层为...
该专利属于杭州电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过杭州电子科技大学授权不得商用。
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