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本发明提供一种掩膜板检测装置及检测方法。该检测装置包括：检测板，由绝缘材料制成；电阻块，采用感光电阻材料制成，设置在检测板的表面上；控制模块，与电阻块相连，用于检测电阻块的电阻值并进行识别，当识别出电阻块的电阻值变化量大于或等于设定值时产生...
该专利属于北京京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京东方光电科技有限公司授权不得商用。

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