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本发明提供一种阻抗匹配器，设置在射频发生器和电感耦合线圈之间，包括输入端、阻抗检测单元、电流检测单元、控制单元、调节单元和至少两个输出端。其中，调节单元包括可变阻抗元件和相应的执行机构，控制单元根据阻抗检测单元和电流检测单元所检测的数据指示...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。