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用于使涂层快速沉积于基体上的方法技术
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下载用于使涂层快速沉积于基体上的方法的技术资料
文档序号:4961816
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将涂层沉积于基体上的方法,所述方法包括以下步骤:(a)通过进行阴极真空电弧(CVA)沉积步骤将材料沉积于基体上;以及(b)通过进行化学气相沉积(CVD)步骤和除了CVA沉积以外的物理气相沉积(PVD)步骤中的至少一种将材料沉积于基体上,其中...
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