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干法硅片自动插片机制造技术
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文档序号:4944233
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干法硅片自动插片机,包括机架以及安装于机架上的提升机构,其特征在于机架上安装往复进给机构以及皮带传送机构,皮带传送机构包括与动力源连接的主轴,主轴左右两端分别装有从动轮,输送硅片的传输带与所述从动轮及传动轮连接,所述皮带经过将硅片输送入硅片...
该专利属于无锡市南亚科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡市南亚科技有限公司授权不得商用。
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