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本实用新型公开了一种具有ＯＬＥＤ光源的直写光刻机，包括有光源，所述光源投影到一侧的图形发生器上，所述图形发生器通过其下方的投影光路投影到对应的晶圆表面上，所述晶圆安装在精密移动平台上。本实用新型采用的有机发光二极管光源寿命长达２００００个小...
该专利属于芯硕半导体（中国）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯硕半导体（中国）有限公司授权不得商用。

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