下载晶体生长炉的技术资料

文档序号:4936292

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本实用新型涉及一种晶体生长炉,属于晶体生长装置领域。本实用新型采用进样室和晶体生长室,进样室和晶体生长室连接真空系统和进气系统。本实用新型的晶体生长装置,能够克服现有技术的固有缺陷,保证了晶体生长室中的保温材料不和空气接触,最大程度减少了保...
该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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