温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种化学气相沉积机台及其遮蔽框架，该遮蔽框架可与一承载台结合，以遮蔽位于承载台上基板的周围区域。此遮蔽框架包括了下列组件。一阶梯结构，具有第一阶梯平面与第一阶梯侧壁，在第一阶梯侧壁上具有一凹槽。一定位板块，可嵌入凹槽而与阶梯结构结合，定位板...该专利属于华映视讯（吴江）有限公司;中华映管股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华映视讯（吴江）有限公司;中华映管股份有限公司授权不得商用。