下载硅基电容麦克风的技术资料

文档序号:4925431

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本实用新型提供了一种硅基电容麦克风,包括基底、平行于基底的背板、与背板相对形成电容效应的振膜,该振膜包括固定部和与固定部相连的振动部,在所述振膜上设置有至少两个贯通所述振膜的振膜扇片,所述振膜扇片包括第一端部、第二端部以及连接第一端部和第二...
该专利属于瑞声声学科技(常州)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过瑞声声学科技(常州)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司授权不得商用。

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