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本发明提供了工具设计及其使用的策略，其中，工具可在关闭或打开操作模式中操作。工具根据需要在打开与关闭模式之间轻松地转换。根据一个总体策略，受环境控制的路径将环境与一个或多个处理室接合。处理室上游的空气放大能力允许根据需要将大量气流引入处理室...
该专利属于ＦＳＩ国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过ＦＳＩ国际公司授权不得商用。

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