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水反应性Al膜的制造方法及成膜室用构成部件技术
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文档序号:4919154
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本发明提供一种水反应性Al膜的制造方法,其将在4NAl或5NAl中以Al基准计添加了2~5wt%的In的材料熔融,以使得组成变得均匀,通过电弧喷镀法,作为喷涂气体使用Ar,对于基材表面进行喷镀而使其急冷凝固,由此形成在Al晶粒中In均匀地分...
该专利属于株式会社爱发科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社爱发科授权不得商用。
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