下载水反应性Al膜的制造方法及成膜室用构成部件的技术资料

文档序号:4919154

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本发明提供一种水反应性Al膜的制造方法,其将在4NAl或5NAl中以Al基准计添加了2~5wt%的In的材料熔融,以使得组成变得均匀,通过电弧喷镀法,作为喷涂气体使用Ar,对于基材表面进行喷镀而使其急冷凝固,由此形成在Al晶粒中In均匀地分...
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