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本发明公开了一种卧式炉管及生产原位参杂多晶硅的方法，为了解决现有技术中合成原位掺杂多晶硅时多晶硅的均匀性较差的问题，本发明公开一种用于生产原位参杂多晶硅的卧式炉管，包括：管体１１和管体１１包围的反应腔１６，管状的气体注入器１５沿管体１１轴向...该专利属于北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司授权不得商用。