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一种制备具有微反应池的生物芯片的方法技术
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文档序号:4902636
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本发明公开了一种制备具有微反应池的生物芯片的方法,该方法包括:清洗衬底;制备掩膜板,在掩膜板上制备微反应池图形;涂光刻胶;光刻、显影、去胶;刻蚀衬底;芯片表面处理。本发明提供的这种制备具有微反应池的生物芯片的方法,工艺成熟,制作成本低,采用...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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