下载半导体存储器件的技术资料

文档序号:4902022

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在使用纵型晶体管的SGT所构成的4F2存储器单元中,因比特线是由柱状硅层下部的扩散层所形成,故为高电阻,有存储器的动作速度变慢的问题点。本发明提供一种半导体存储器件,其特征为:在使用纵型晶体管的SGT所构成的4F2存储器单元中,将具有与存储...
该专利属于日本优尼山帝斯电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本优尼山帝斯电子株式会社授权不得商用。

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