下载制造双取向IV族半导体衬底的方法的技术资料

文档序号:4899578

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及制造双取向IV族半导体衬底的方法,包括在DSB之类的衬底中仅在表面层第一横向区域中进行遮蔽非晶化,以及仅在第一横向区域中进行表面层的固相外延再生长,以便建立其(100)取向。接着,在表面层上制造覆盖层,随后制造隔离区,其将(110...
该专利属于NXP股份有限公司;ST微电子简化股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过NXP股份有限公司;ST微电子简化股份公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。