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本发明的退火装置具备：面向晶片Ｗ的面设置、具有向晶片Ｗ照射光的多个ＬＥＤ（３３）的加热源（１７ａ，１７ｂ）；透过来自发光元件（３３）的光的光透射部件（１８ａ，１８ｂ）；和与加热源（１７ａ，１７ｂ）直接接触设置的由Ａｌ构成的冷却部件（４ａ，４...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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