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本发明公开了一种由单晶硅材料构成的微米尺度网格结构，该微米尺度网格结构由外部边框（１）和网格区域（２）构成；该外部边框（１）为矩形，该网格区域（２）中包含有网孔（３），该网孔（３）重复平铺于网格区域（２）所在的空间平面。本发明同时公开了一种...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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