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本发明涉及一种于一基板（４４）中具有变化同时性的激光钻孔方法，包含：操作一激光（２２），以产生一单一输出光束（２４），该单一输出光束（２４）的多个脉波具有一总能量；以随时间变化的一程度，划分该单一输出光束为多个光束（４１）；以及施加该多个光...该专利属于以色列商奥宝科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过以色列商奥宝科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种于一基板（４４）中具有变化同时性的激光钻孔方法，包含：操作一激光（２２），以产生一单一输出光束（２４），该单一输出光束（２４）的多个脉波具有一总能量；以随时间变化的一程度，划分该单一输出光束为多个光束（４１）；以及施加该多个光...