下载使用熔液法的单晶生长用籽晶轴的技术资料

文档序号:4882415

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本发明提供可防止或抑制使用熔液法的多晶的生成且以高的生长速度使单晶生长的使用熔液法的结晶生长用籽晶轴。本发明的使用熔液法的单晶生长用籽晶轴,是被用于使用熔液法的单晶制造装置的籽晶轴,是在籽晶支持部件上介有下述碳片接合籽晶而成的,所述碳片在与...
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