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本实用新型公开了一种化学机械研磨装置，包括研磨台，研磨台上设置有研磨垫固定底盘，研磨垫固定底盘上设置有研磨垫。所述研磨垫固定底盘与研磨台之间为可拆卸连接。本实用新型将研磨垫的安装、更换及工艺前的表面预处理放到可从研磨台上拆卸的研磨垫固定底盘...
该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。

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