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一种多室连续真空镀膜装置，包括有依次串联、由６台阀门隔开的以下的、进片真空室２－前缓冲真空室４－前过渡真空室６－镀膜真空室８－后过渡真空室９－后缓冲真空室１１－出片真空室１３；在镀膜真空室８里，装设有若干条的靶条７；各真空室连接有真空发生装...
该专利属于钟肇兰所有，仅供学习研究参考，未经过钟肇兰授权不得商用。

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