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本实用新型为一种制程用的温度控制装置，其特征在于：一上罩体，为一中空罩体，其于顶面设有至少一入气孔，该上罩体于内部设有一气体缓冲空间，该气体缓冲空间顶面设有一顶板，该顶板为圆弧状，该顶板下方周缘设有相连接的多个侧板，各侧板上设有多个出气孔，...
该专利属于竣业机电工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过竣业机电工程有限公司授权不得商用。

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